10月19日，湖南省第一届科技创新战略咨询专家委员会成立4个月后，这份湖南“最强大脑”天团名单上又增加了一个半导体专家的名字。

(尹志尧 /罗新国 摄)

他叫尹志尧，中微半导体设备（上海）有限公司董事长兼首席执行官，1944年出生于北京，1967年毕业于中国科技大学化学物理系，1984年获美国加州大学洛杉矶分校(UCLA)物理化学博士。

19日上午，湖南省委书记杜家毫专门与他进行了座谈，并向他颁发了省科技创新战略咨询专家委员会委员聘书。在座谈中，这位年已74岁的半导体设备专家说，愿深化与湖南政府和企业间交流合作，携手推动湖南集成电路高端设备自主研制开发。

尹老是半导体领域的一个传奇式的人物，是几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者，在技术及产品的开发中获得过200多项各国专利和86项美国专利。

2004年回国创业，经过十四年的钻研打拼，终于让中微成为国内半导体高端设备的领先公司，国际半导体设备产业的新星。他于2018年获评“感动上海年度人物”，还曾获评全国十大新领军人物、上海市政府白玉兰纪念奖、浦东经济人物十强等。

下面，观潮君就来和大家说说这位科学家的传奇故事。

“学霸”尹志尧

1944年，尹志尧出生在北平一个爱国世家。他的曾外祖父是清末革命党人，祖父是庚子赔款留学生，是开拓吉林四平街，支持本土工商业发展来对抗日本经济侵略的政治家。父亲是留日回国报效的电化学专家。

中学就读于久负盛名的北京四中，曾任少先队大队委员会主席，共青团委委员，获得学习优良金质奖章。本科毕业于天才云集的中科大。大学毕业后，尹志尧在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。1978年，“不安分”的他选择继续深造，考入北京大学化学系。

在北大，尹志尧目睹了当时国内最先进的计算机，内存虽然只有128K，却占了两栋大楼，里面装着数不清的电子管。

当年尹志尧可能没想到，自己的人生将会从此与半导体紧密交织，难以分离。

40年来，从电子管计算机到纳米级的芯片，人类已经将微观加工的面积缩小了1万亿倍，尹志尧有幸参与了这一过程。

1980年，他获北大化学系硕士学位，后在亲戚帮助下，到加州大学洛杉矶分校攻读博士学位。仅仅三年半，他就拿到物理化学博士学位。用现在的话说，他绝对是一名名副其实的学霸。

此后20年里，尹志尧一直在硅谷工作，从工程师到公司高管，再到设备领域的领跑者。先后在英特尔、泛林、应用材料等半导体行业的国际巨头工作。归国前，他已在全球最大的半导体设备百亿公司——应用材料做到总公司副总裁，等离子体刻蚀事业群总经理。其领导和参与开发的刻蚀设备，几乎占到了全世界的一半。

为中国“解套”

60岁准备退休的那年，尹志尧做了一个让人意外的决定，回到中国。

他以及和他一同回国的同事，知道回国创业的风险，他们空着手登上了回到祖国的航班。

尹志尧在硅谷业打拼多年，个人在半导体行业拥有86项美国专利和200多项各国专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

等离子体刻蚀机是芯片制造仅次于光刻机的最重要的微观加工核心设备，加工精度在纳米级，相当于在头发丝几千分之一的尺度上，盖几十层的高楼，修高速公路，搭立交桥。多年来，等离子刻蚀机一直被应用材料、泛林和东京电子垄断。

没有刻蚀机就无法制造芯片，造不出可以满足中国科技发展需求的“中国芯”，犹如一道枷锁，严重束缚了中国科技发展的步伐。

直到2004年，尹志尧回国创办中微半导体，这一格局才被打破。

2007年，回国仅仅三年的中微团队研发出了第一代介质刻蚀机，在业内首次采用可单台独立操作的双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。

在中国的土地上，第一次能够生产这样高端的半导体设备。

目前，尹志尧的团队已开发出生产7nm到5纳米器件的设备，已经与世界最前沿技术比肩。

“在米粒上刻字的微雕技艺上，一般能刻200多个字已经是极限，而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺，相当于可以在米粒上刻1亿个字到10亿个字的水平。”尹志尧这样形容。

被点燃的爱国情怀

年收入百万美元以上，国外生活优越，成绩斐然，为何要在花甲之年抛家舍业毅然回国呢？

这里必须要提到一个人，江上舟。

他是尹志尧北京四中的校友，时任上海市经委主任，当然，他还有另一个身份，上海市芯片产业的“旗手”。

江上舟曾鼓动张汝京等一大批硅谷华人回国创业。

一次国际半导体设备展上，他与尹志尧不期而遇。他问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，我们能不能自己把它造出来？”

面对校友的邀请，尹志尧并非没有犹豫，他已年近6旬，在大型跨国公司担任高职，国外的生活也早已习惯。

见尹志尧犹豫，江上舟又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！

就是这句话，唤醒了尹志尧内心最深处的爱国情愫。祖孙四代的报国情怀被激活，并得到了传承。

“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”

2004年，尹志尧带着15人专业团队飞抵上海，震惊了硅谷的同行。到现在，中微已吸收了160多位，十个国家的精英，占公司人员的四分之一。中微是一个国际化的公司。

累死也不回头

创业总是伴随着艰难，暮年创业更是如此。廉颇虽还能饭，怎奈困难不容片歇。

半导体是一个科技密度很高的行业，也是一个前期投入很大，简直是“烧钱”的行业。回国创业的尹志尧首先需要解决两个问题：钱和技术。

在美国的应用材料公司，每年要花十几亿美元开发产品。但中微在上海启动时，政府资助的5000万元启动资金和团队自筹的150万美金，很快就被烧光。

为了筹资，他跑遍所有可能注资的机构和企业，却没能拿回一分钱。当时国内的投资机构，对这种扔进去几十个亿可能连个响都听不到的行业，并不感兴趣。

无奈之下，他只好求助硅谷。消息传出，数十家风投机构前来找尹志尧。愿意投入的资本比需要的多出三倍。再后来的十多年，国内的基金和投资商逐渐地了解了这一行业，也对此投资支持中微的发展。有心人，天不负。很快上海创投和国开金融大力投入，靠着这些钱，尹志尧撑过了最难的阶段。三年后，中微的刻蚀机开始进入国际一流的芯片生产线。

钱的问题解决了，但技术又是另一个难关。

在美国高科技行业工作多年的尹志尧对专利保护和知识产权并不陌生，且在国外就经历过这方面的官司。所以，回国创业之初就已经未雨绸缪，建立了非常严格的制度，绝对不容许从美国回来的人员带回任何技术资料，对国外对手的3000多个专利进行了充分的研究，在设计开发设备产品时，确保有自主的创新性，而且对可能发生的知识产权纠纷逐项进行了充分的准备，防止被国际对手“突然袭击”。

刚回国时，尹志尧和他的团队挤在上海市牛顿路一栋楼里，没日没夜地研究，三载寒暑才有所成。

果然，就在中微推出自己的产品后不久，尹志尧就被前东家应用材料推上了美国联邦法院的被告席。应用材料认为，一定是从应材出来到中微的人盗用了公司的技术，毕竟他们熟悉应材的技术，指控似乎有它的逻辑。但尹志尧却丝毫不慌张。中微聘用了美国一流的律师，用两年半的时间和2500万美元的律师费，彻查了600万件内部文件，证明了自己的清白，最终和应材和解。

与应用材料的官司刚刚开始，前东家泛林公司也来凑热闹，在中国台湾起诉中微侵权。时机选得也很巧，就在中微设备刚要进驻台湾某大厂前。

尹志尧和所带领的中微并没有退缩，而是反诉了对手的专利有众多的前置专利，完全是无效的。很快泛林的专利被否定，也败兴而归。

尹志尧回国的目的就是为解下套在中国脖子上的枷锁。如今，已经古稀之年的尹志尧仍然为了国家奋战在科研一线。刚回国时，有一次坐出租车，司机对他说：“您看起来只有38岁！”尹志尧一听，爽朗地笑道：“太好了，以后自己就是38岁的人。”

其实，尹志尧何尝不懂岁月不饶人的道理，但他同时也深知时间不等人的现实。

即使他等得起，但中国等不起！所以他说，有些路一旦选择，就不容回头，那怕累死在路上。

经过中微团队十四年的努力，中微已成为我国半导体高端设备的领军企业，国际半导体产业的一颗新星。美国商业部在2015年宣布“由于在已有一家中国的公司做出来和美国相当数量和同等质量的刻蚀机”所以去掉了对中国的出口控制。在今年美国半导体产业著名的市场分析公司VLSI Research 在对全球半导体设备公司客户满意度的评比中，中微被评为第三名，仅次于荷兰的ASML 光刻机公司和一个美国公司。

“外国人拿来掐我们脖子，我们能造出来吗？”当年，正是江上舟的一句话，撩起了尹志尧创业的初心。

他在用他的余生，回答着江上舟的提问。